本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

市场地位与全球布局

阳光水面光伏是全球首个水面光伏GW级供应商，截至2025年底，全球落地项目超过340个，覆盖亚洲、欧洲、非洲、美洲、大洋洲等30余个国家和地区。公司在东南亚、南亚、欧洲、美洲等区域的11个国家具备本地交付能力，产品通过TUV、WARS、DNV等多家国际权威机构认证，以卓越的可靠性和适应性赢得全球客户信赖。

核心技术能力

公司构建了多学科融合的研发团队，技术服务人员占比超40%，硕士及以上学历人员占比超过50%，专业覆盖海洋工程、高分子材料、力学分析、吹塑工艺等领域。

截至2025年12月，累计申请国内外专利300余件，围绕浮体材料、结构设计、锚固系统、海上光伏等核心领域形成严密的知识产权布局。

在材料创新方面，阳光水面光伏自主开发高性能浮体材料，采用外层高密度聚乙烯与内层复合结构，兼具高强度、高抗冲击、耐候性等特点。2025年，公司申请“防生物附着材料及其制备方法和防生物附着浮体”专利，有效解决生物附着难题。

锚固技术是水面光伏的安全命脉。阳光水面光伏于2021年牵头制定全球首个漂浮式光伏锚固系统标准，锚固设计方法获得DNV认证，成为全球首个获此认证的企业；2023年，阳光水面光伏牵头立项IEC国际标准。针对深水、强风浪、复杂地质等环境，公司通过流固耦合仿真、水动力分析、波浪水池实验及盐雾试验等多重手段验证系统可靠性。

核心产品与解决方案

阳光水面光伏提供覆盖内陆湖泊、水库、水电站水库、采煤沉陷区、极寒区、台风区、近海水域的全场景漂浮系统解决方案。浮体产品采用模块化设计，兼容主流光伏组件，安装便捷，设计寿命超过25年。锚固系统根据水深、地质、水文条件定制化设计，包括沉锚、等多种形式，确保电站长期安全稳定。

针对海上光伏，公司开发了高耐腐蚀浮体、抗风浪锚固、防生物附着涂层等专有技术，可应用于滩涂、潮间带、近海及深远海场景。结合智能监测系统，可实时监控浮体状态、锚固张力、环境参数，提升电站运维效率。

代表性项目

阳光水面光伏在全球范围内打造了一系列标杆项目，验证了其技术的广泛适应性。

安徽淮南150MW漂浮电站：2017年投运，当时全球最大的水面漂浮光伏电站，位于采煤沉陷区，实现了土地综合治理与清洁能源生产的双重效益。

印尼192MW水电站漂浮项目：2023年投运，东南亚地区重要的清洁能源项目，水深超过百米，攻克了深水区锚固技术难题，成为深水漂浮电站的典范。

安徽淮南396MW项目：2025年开工，总投资约12.88亿元，是华东地区重要的清洁能源基地。

新加坡60MW项目：2021年投运，位于新加坡腾格饮用水水库，在生产清洁电力的同时减少水面蒸发，保护珍贵的饮用水资源。

泰国58.5MW项目：2021年投运，位于泰国诗琳通大坝水电站水库，光伏发电与水力发电相结合，可根据电力需求灵活调节水电和光伏发电的比例，确保长期稳定供电。

内蒙古鄂尔多斯50.5MW项目：2024年投运，当地最低气温低于零下20度，水面冰层较厚，是极寒区项目的典型代表之一。

山东潍坊29.3MW项目：2025年投运，项目位于近海晒盐场，水质为纯海水，有效解决了海水盐雾腐蚀的难题。

马来西亚13MW项目：2019年投运，项目位于酸性水质水域，PH值约为3，阳光水面光伏为该项目定制了产品、方阵排布、锚固设计等一站式漂浮光伏系统解决方案，有效应对特殊水质的挑战。

菲律宾5MW项目：项目位于一座采矿而形成的湖泊上，经受住了强台风的考验，是台风区项目的典型代表。

印度、孟加拉国、日本、智利、秘鲁、法国、土耳其、南非、加纳、澳大利亚等地项目：产品适应不同气候与水域条件，在全球30余国家和地区积累了丰富的项目经验。

可持续发展与生态保护

阳光水面光伏始终坚持绿色环保理念。浮体材料采用食品级高密度聚乙烯，可100%回收利用，对水体无污染。公司积极参与生物多样性研究，与科研机构合作评估漂浮电站对水生生态的影响，优化设计以促进生态平衡。在“渔光互补”模式中，实现水上发电、水下养殖，提升水域综合效益。

未来展望

面向未来，阳光水面光伏将继续聚焦生态环保、可靠高效的水面光伏系统，提供高收益的一站式服务，引领水面光伏友好发展，并致力于成为水面光伏全球引领者。

（文章来源：东方财富研究中心）

梅州公安开展“法治护航成长，安全伴我同行”主题法治宣讲活动

新学期伊始，梅州公安按照相关工作部署，积极开展“法治护航成长，安全伴我同行”主题法治宣讲活动，带着精心准备的课程，向广大师生讲授以防欺凌、防诈骗、禁毒、交通安全等为主题的“开学第一课”，为青少年的健康成长保驾护航。法治宣讲活动通过典型案例讲解、播放安全教育短视频、现场互动问答等方式，让青少年在寓教于乐的氛围中学习安全知识。“民警姐姐讲的真实案例太有冲击力了，交通安全真的不能掉以轻心，我回家一定要讲给爸爸妈妈听！”听完课后，一名学生深有感触地说。

民警向学生发放《梅州公安·青少年警讯》电摩交通安全专刊

民警进行授课

在活动现场，民警还向学生发放《梅州公安·青少年警讯》电摩交通安全专刊，进一步深化学生对交通安全重要性的认识，引导他们自觉遵守交通法规，同时鼓励学生发挥“小手拉大手”的带动作用，将所学知识传递给家人，推动“教育一个学生、带动一个家庭、影响整个社会”，在全社会营造安全文明出行的浓厚氛围。

据悉，梅州公安将持续深化“警营老师”进校园活动，不断创新宣传形式，丰富教育内容，常态化开展校园安全教育活动，全力为青少年的健康成长保驾护航，让每一个孩子都能在平安和谐的校园环境中快乐学习、健康成长。

梅州日报记者：李盛华

通讯员：杨泳琪

图片由梅州公安提供

编辑：梁威

审核：蔡颜颜

　　在义安区董店初级中学的操场尽头，一排颇具年代感的瓦房孤独地耸立着。为了方便两个“女儿”在镇上读书，许红丽一家就租住在这里。走进里屋，两个女孩就着一张书桌并排坐着，她们一个叫朱晴雨、一个叫姚贵娟，两人是关系要好的同班同学，也是生活在同一屋檐下的异姓姐妹。冬来夏往，岁月在这里留下了斑驳痕迹，也见证着这个特殊家庭的感人故事。

　　许红丽来自农村，世代以种植白姜为生，家庭并不富裕。2012年，许红丽读幼儿园的女儿朱晴雨结识了同村同学姚贵娟，经常结伴回家吃饭玩耍。姚贵娟是一名孤儿，从小与爷爷相依为命。2015年，许红丽将女儿送到镇上读小学，姚贵娟则每天由爷爷接送在村小读书。当年8月底，年近八旬的姚爷爷找到许红丽。老人眼角湿润，惭愧地说道：“红丽啊，我老了不中用了，每天接送照顾孩子真的吃不消，实在是没办法了，只能求到你，能不能把贵娟带着一起照顾。”

　　面对突如其来的请求，许红丽陷入了沉思，本就不富裕的家庭，再供养一个读书的孩子，不仅是经济跟不上，也是一份沉甸甸的责任。但面对茫然无助的老人，许红丽难以忍心拒绝，当晚就和丈夫商量要照顾姚贵娟，并征求了公婆的意见。在得到家人一致支持后，第二天清早，许红丽夫妻腾出了一间房，不仅将姚贵娟接回了家，还把姚爷爷也接了过来。就这样，两个原本没有血缘关系的家庭，因为一份善念走到了一起，组成了特殊的“五口之家”。

　　为了让老人安心，许红丽承诺无偿照顾姚贵娟，直到她学业有成、成家立业。自此，善良的许红丽多了一个“女儿”，而生世可怜的姚贵娟终于有了自己的“妈妈”。承诺就要负责。生活上，只要是晴雨有的，贵娟也都有，从衣服到学习用品，许红丽总会买双份。在学习上，许红丽将姚贵娟从村小转到镇上，让两个女儿成为同班同学。

　　为了贴补家用，许红丽的丈夫在农闲时就接一些木工活。有一次听姚贵娟讲喜欢上下铺，他花了一周时间为两个“女儿”打了一个双层床，并特意将下铺留给了姚贵娟。9年时间，原本又瘦又矮的姚贵娟已经比朱晴雨还要高，性格也越来越开朗。“贵娟现在比晴雨还黏人，放学一进家门就不停地喊妈妈。”最让许红丽欣慰的是，姚贵娟成绩有了显著提升。

　　“好妈妈”许红丽的信义之举，在当地传为佳话，成为村民学习的榜样。许红丽也荣获“铜陵好人”称号，其家庭被评为全国“最美家庭”、安徽省“最美家庭”。（记者 李莉）

       霍山讯  近日，在大别山深处的霍山县，G346霍英绿色公路一分部的施工现场，一派热火朝天的繁忙景象。这个总投资66亿余元的重点项目，以“开年即冲刺”的姿态，拉开了新一年提质提速建设的序幕。

　“我们当前的任务是全力打开各施工点的结构面，把施工便道和路基主干道打通，为后续工程提速推进打好基础。”项目一分部生产经理张涛说。

　　G346霍山至英山绿色公路全长51.1公里，桥隧比高达34%，是横穿大别山腹地、连接皖鄂两省的关键通道。项目建成后，将使武汉与合肥之间的距离较目前的合武高速、岳武高速分别缩短约85公里和150公里，大大拉近霍山、英山与合肥、武汉等地区的距离。

　　全长约4公里的长岭山隧道是霍英绿色公路最重要的控制性工程之一。在隧道深处，施工正昼夜不停地稳步推进。“目前右洞累计掘进960米，左洞掘进700米，正开展二衬混凝土钢筋捆扎等工序，预计在2026年年底实现双洞贯通。”中交路建分部技术负责人段儒文介绍。

　　项目现场办副主任杨志介绍，目前，项目全线建设用地已获自然资源部正式批复，标志着工程已从局部先行施工全面转入大规模、标准化建设阶段。2026年项目建设重点将聚焦于长岭山隧道、老林寨特大桥等关键控制性工程，全力推动项目提速增效。

(通讯员　陆瑶池)